淄博市電子廠無塵車間潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)-天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司

淄博市電子廠無塵車間潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司   10萬級(jí)無塵室主要采用的送風(fēng)方式： 1.局部孔板頂棚送風(fēng)； 2.帶擴(kuò)散板高效空氣過濾器頂棚送風(fēng)； 3.上側(cè)墻送風(fēng)等三種送風(fēng)方式。10萬級(jí)無塵室主要采用的回風(fēng)方式： 1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口； 2.當(dāng)采用過道回風(fēng)時(shí)，在過道內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在過道端部集中設(shè)置回風(fēng)口。

電子潔凈廠房是屬于企業(yè)里資金投入特別大的部分，潔凈廠房凈化無塵車間建設(shè)完成后，能否達(dá)到設(shè)計(jì)目的(滿足產(chǎn)品工藝生產(chǎn)要求，符合GMP的要求),需要通過實(shí)踐檢則來確認(rèn)故數(shù)據(jù)。

電子廠無塵車間潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn) 電子制造業(yè)廠潔凈室檢測(cè)要求潔凈度等級(jí)、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等按需要進(jìn)行控制。潔凈室的照度和截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范控制。另外，這類潔凈室對(duì)靜電的要求非常高。嚴(yán)格的。其中，對(duì)濕度的要求更為嚴(yán)格。因?yàn)樵谶^于干燥的廠房內(nèi)容易產(chǎn)生靜電，會(huì)損壞CMOS集成度。

若潔凈室（區(qū)）運(yùn)行中已對(duì)粒子濃度、風(fēng)速、靜壓差進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)，且其測(cè)試值均符合本規(guī)范要求時(shí)，的測(cè)試時(shí)間間隔可延長。具體間隔時(shí)間，可與單位洽商已安裝過濾器泄露、氣流流型目測(cè)、照度，所有潔凈度等級(jí)，建議*長時(shí)間間隔24月、溫度、相對(duì)濕度，所有潔凈度等級(jí)，建議*長時(shí)間間隔12月、自凈時(shí)間、密閉性，建議*長時(shí)間間隔＞24月、噪聲，建議*長時(shí)間間隔＞12月

對(duì)于無塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時(shí)換氣5次以上;人均每小時(shí)新風(fēng)量30立方米以上;每人每小時(shí)換風(fēng)量10立方米以上;每平方米允許噪聲強(qiáng)度85分貝以下(a計(jì)權(quán));溫濕度波動(dòng)小;光照度適宜等等。氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌。等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。  目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1-5級(jí)時(shí)，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)時(shí)，基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時(shí)冷熱抵消現(xiàn)象，對(duì)于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。

電子廠無塵車間潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)  檢測(cè)指標(biāo)：溫度、相對(duì)濕度、照度、照度、噪聲、靜壓差、懸浮粒子數(shù)、換氣次數(shù)、過濾器撿漏、沉降菌

　電子制造業(yè)廠潔凈室檢測(cè)要求潔凈度等級(jí)、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等按需要進(jìn)行控制。潔凈室的照度和截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范控制。另外，這類潔凈室對(duì)靜電的要求非常高。嚴(yán)格的。其中，對(duì)濕度的要求更為嚴(yán)格。

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