臨沂市工業(yè)電子廠房潔凈檢測(cè)機(jī)構(gòu)要求-天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司

臨沂市工業(yè)電子廠房潔凈檢測(cè)機(jī)構(gòu)要求--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司   電子潔凈車間一般要求潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(jí)（小于3.5個(gè)），1000級(jí)（小于35個(gè)），10000級(jí)（小于350個(gè)），100000級(jí)(小于3500個(gè))。

對(duì)于無(wú)塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時(shí)換氣5次以上;人均每小時(shí)新風(fēng)量30立方米以上;每人每小時(shí)換風(fēng)量10立方米以上;每平方米允許噪聲強(qiáng)度85分貝以下(a計(jì)權(quán));溫濕度波動(dòng)小;光照度適宜等等。氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌。等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

工業(yè)電子廠房潔凈檢測(cè) 10萬(wàn)級(jí)室內(nèi)空氣參數(shù)需求： 1.新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi)，人員比較多，能夠依據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的*值：非單向流潔凈室送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和堅(jiān)持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；確保室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3 /h。

目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1-5級(jí)時(shí)，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)時(shí)，基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時(shí)冷熱抵消現(xiàn)象，對(duì)于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。

電子廠房潔凈室空氣潔凈度檢測(cè)項(xiàng)目：  潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)取以下三個(gè)較大值：保證電子制造廠潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量；根據(jù)熱濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量；房間內(nèi)供應(yīng)的新鮮空氣量。

工業(yè)電子廠房潔凈檢測(cè)  由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。 可根據(jù)電子廠房潔凈標(biāo)準(zhǔn)對(duì)電子工業(yè)潔凈廠房進(jìn)行相關(guān)參數(shù)的監(jiān)測(cè)，為廠房的順利交付、生產(chǎn)工藝的改進(jìn)及產(chǎn)品的質(zhì)量保證提供可靠的數(shù)據(jù)支持。

因?yàn)閮艋こ痰臋z測(cè)主要關(guān)注兩種粒徑，即0.5um和5um。等速采樣對(duì)≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計(jì)算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度，如果這些粒子不受等速條件的影響，則計(jì)算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對(duì)大于等于0.5um的顆粒有意義。

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