應答時間200msec的高速質量流量控制器（MFC）。

通過使用熱傳感器，實現(xiàn)100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC獨創(chuàng)的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥，可實現(xiàn)腐蝕性氣體的高速流量控制。

流量精度可達到±1.0％S.P.，數字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。

產品特點

• 高速流量控制200msec

• 精度±1%S.P.

• 使用溫度5～50℃

• 金屬密封材

• 無塵（粒子標準監(jiān)控）

• 周圍溫度補償傳感器

• 支持EtherCAT通訊方式

• 支持DeviceNet?通訊方式

高速流量制御

　　　　　　　　　從全閉開始控制　　　　　　　　　脈沖信號

使用范例

快速刻蝕工藝

在半導體制造工藝中，在微細化的同時還需要提高產量。對于控制反應氣體流量的質量流量控制器來說，縮短流量控制開始(啟動)時間的需求日益增加。高速質量流量控制器【MC-7000】因為使用了非接觸式熱式流量傳感器，流量傳感器與流量測量氣體不接觸，可實現(xiàn)200msec的高速響應。同時，因為非接觸式的特點，該流量控制器可用于測量腐蝕性氣體。

產品規(guī)格表

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