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海德漢光柵尺LS177 640操作步驟
介紹:
光柵尺是一種基于光學(xué)干涉原理的精密測(cè)量裝置,由標(biāo)尺光動(dòng)部件)相對(duì)移動(dòng)時(shí),兩者柵線夾角產(chǎn)生干涉條紋。這些條紋的移動(dòng)距柵和讀數(shù)頭組成,廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域,能夠?qū)崿F(xiàn)微米級(jí)至納米級(jí)精度的位移測(cè)量。 ?光柵尺通過莫爾條紋實(shí)現(xiàn)測(cè)量,當(dāng)標(biāo)尺光柵(固定在設(shè)備基準(zhǔn)部件)與指示光柵(安裝在移離與位移量成正比,通過光電轉(zhuǎn)換和信號(hào)處理即可確定位置變化。 ?
說明:
光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭,它由光源、會(huì)聚透鏡、指示光柵、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多,根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭)。
SY5120-4D-01-S
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SY5120-4D-C6
SY5120-4DD-01
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歐姆龍E2E2-X8MD1
歐姆龍E2E2-X8MD2
歐姆龍E2E-C1B1 2M
歐姆龍E2E-C1B2 2M
歐姆龍E2E-C1C1
歐姆龍E2E-C1C2
歐姆龍E2EC-C1R5D1
歐姆龍E2EC-C2R5C1 2M
歐姆龍E2EC-C3D1
歐姆龍E2EC-CR5C1
歐姆龍E2EC-CR8D1
歐姆龍E2E-CR8B1 2M
SY5120-4DD-C6
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海德漢光柵尺LS177 640操作步驟
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