ULVAC愛(ài)發(fā)科機(jī)械增壓泵 PMB1200D

發(fā)布時(shí)間：2025/06/30 15:12:57 發(fā)布廠商：高斯摩（成都）國(guó)際貿(mào)易有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺(tái)

機(jī)械增壓泵是一種可顯著提高抽速的泵。

通過(guò)與油旋轉(zhuǎn)真空泵或干泵等粗抽泵組合使用，在粗抽泵抽速下降的壓力范圍內(nèi)，可以顯著提高粗抽泵的抽速。

應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝、真空蒸餾、真空封裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風(fēng)洞測(cè)試、太空探測(cè)、真空浸漬、真空干燥等眾多領(lǐng)域。

ULVAC愛(ài)發(fā)科機(jī)械增壓泵 PMB1200D

通用型機(jī)械式增壓泵

“型號(hào)：PMB Ver.D”是通用型機(jī)械式增壓泵。

可選擇可選的表面處理和常壓驅(qū)動(dòng)類型，也可以進(jìn)行風(fēng)冷運(yùn)行。

長(zhǎng)處

配備用于空氣冷卻的變頻器，可在整個(gè)壓力范圍內(nèi)進(jìn)行風(fēng)冷作。

由于它與可從多電壓電機(jī)（200V 級(jí)、多電壓）中選擇的通用電機(jī)兼容，

因此也可以安裝防爆電機(jī)（可選）。

表面處理具有優(yōu)異的耐腐蝕性（選項(xiàng)：T 型）

主要部件經(jīng)過(guò)陽(yáng)極氧化處理，表面硬度高，耐腐蝕性優(yōu)異。減少泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕。

由于可以同時(shí)使用常壓驅(qū)動(dòng)型（選項(xiàng)：變頻器）

粗抽泵同時(shí)啟動(dòng)，可有效縮短排氣時(shí)間，因此與標(biāo)準(zhǔn)型相比，可以縮短排氣時(shí)間。

除了針對(duì)特殊應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)可選支持

外，還提供用于特殊應(yīng)用的型號(hào)。

用

氣相沉積、濺射、離子鍍

真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣

分析儀器，泄漏測(cè)試設(shè)備

氣體置換、填充、真空絕熱

熱處理爐、熔煉爐

其他真空設(shè)備

型號(hào) *1				PMB100D	PMB300D	PMB600D	PMB1200D	PMB2400D
*抽速		50 赫茲	m3/h （升/分鐘）	95 （1,580）	280 （4,670）	500 （8,330）	1,000 （16,667）	2,000 （33330）	2,500 （41,667）
		60 赫茲		115 （1,920）	330 （5,500）	600 （10,000）	1200 （20,000）	2,400 （40,000）	3,100 （51,667）
*吸入壓力		50 赫茲	帕	9.3×103	1,2×103	1.3×103		2.0×103/8.0×102
		60 赫茲		6.2×103	9.3×102	1,1×103		1.5×103/6.7×102
*允許壓差		50 赫茲	帕	8.0×10 元3	4.0×103	7.3×103		3.5×103/4.7×103
		60 赫茲		5,6×103	3.3×103	6.0×103		3.0×103/4.7×103
極限壓力 *2			帕	4.0×10-1			6,7×10-1
可驅(qū)動(dòng)壓力			帕	~1.0×105 （常壓驅(qū)動(dòng)）
電機(jī) *3	電機(jī)功率（位數(shù)）		kW （位數(shù)）	0.4(2)	0.75(2)	2.2(2)	3.7(2)	7.5(2)
	200V 級(jí) 電機(jī)	50 赫茲	V	200	ー
		60 赫茲		200/220	ー
	多電壓電機(jī)	50 赫茲	V	220~240/380~415°C	200~240/380~415°C
		60 赫茲		208~240/380~460°C	200~240/380~460°C
使用油 *4				ULVOIL R-42
所需油量			L	0.35	0.7	1.5	1.9	4
冷卻系統(tǒng) *5				風(fēng)冷	風(fēng)冷/水冷
冷卻水	入口壓力		Mpa	ー	0.3
	入口壓差		Mpa	ー	0.05
	冷卻水量		升/分鐘	ー	2		3
	冷卻水溫度 *6		°C	ー	5~30
進(jìn)氣口 JIS-B-2290				VG50 等效值	VG80 等效值		VG100 等效值	VG200 等效值
排氣孔 JIS-B-2290				相當(dāng)于 VF50	相當(dāng)于 VF80			相當(dāng)于 VF200

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機(jī)械增壓泵

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