LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3102L-TN

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3102L-TN

质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。

核心技术架构

传感系统：

热式传感：基于King's Law原理，采用毛细管式或旁路式设计，温度分辨率达0.01℃

压差式传感：基于层流元件和压差传感器组合，适用于大流量范围（0.1-5000SLM）

科里奥利式：直接质量测量，精度可达±0.1%读数

阀体系统：

压电瓷阀（响应时间<10ms）

电磁比例阀（寿命>10⁸次循环）

典型应用场景

1. 半导体制造：

晶圆刻蚀工艺（Cl₂、CF₄等特种气体控制）

CVD沉积（SiH₄/N₂O流量比控制±1%）

离子注入（BF₃/PH₃配气）

2. 新能源领域：

燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）

光伏硅烷沉积（流量波动<±0.3%）

3. 制药行业：

生物反应器气体供应（O₂/CO₂/N₂三联控）

LINTEC（琳得科）是一家全球*的高性能胶带、粘合材料及功能性薄膜制造商，部位于日本，成立于1954年。凭借过半个世纪的技术积累与创新，LINTEC已成为电子、汽车、建筑、印刷包装等行业的核心材料供应商，以*的产品质量和*的解决方案闻名。
核心技术领域
LINTEC的核心业务涵盖三大方向：
电子材料：生产半导体封装胶带、光学薄膜、导电胶带等，广泛应用于智能手机、平板电脑及半导体制造，助力高精度电子元件加工。
工业胶带：提供汽车粘接、建筑密封等高性能胶带，以耐候性、强粘着力著称，服务于丰田、本田等企业。
印刷与包装材料：开发环保型标签、装饰膜等，兼顾美观与功能性，适用于食品、医药等行业。