膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。
泵體結構采用無油環(huán)境設計、因此維護簡單。
根據您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計。
價格低廉，銷售量多的標準型干式真空泵。 氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。 豐富的產品陣容可滿足不同的應用需求。 單級排氣系統(tǒng)比兩級排氣系統(tǒng)更快。 具有鎖定保護和過流保護功能等安全設計。 大氣壓下可以運作。 真空吸盤，晶圓和*處理設備。 真空鑷子，醫(yī)療器械。 印刷設備。 自動包裝機。 光學器具。 半導體行業(yè)。 注塑機。特點
用途
※1：極限壓力如（）真空計顯示。 ：標準、○：可選對應、－：對應不可 １ 如果在負載運作期間停止泵，然后立即重新啟動，則可能無法重新啟動。 ２ 請不要吸入腐蝕性氣體，有機溶劑，液體和可冷凝氣體（如水蒸氣）。 ３ 泵啟動時會有大電流流過。 ４ 僅供室內使用規(guī)格
Unit50Hz60Hz有效排氣速度L/min6072極限壓力※1Pa (kPa)21.3×103 （-80.0）使用電動機 單相, 100V, 200W, 4P, 分相啟動全負荷電流A5.65.0重量kg11.0吸/排出孔（內螺紋尺寸）mmO.D.Φ9×I.D.Φ5 (Rc 1/4)使用環(huán)境溫度范圍℃7～40*尺寸mm212(W)×278(L)×224.5(H) 對應標準/電壓
型號標準ＣＥ自我宣言1Φ100V1Φ115V1Φ200V1Φ220VDA-60S－－－○○ 使用上的注意
在這種情況下，將泵內部恢復到大氣壓。
另外，請確保污垢和灰塵不會進入泵內部。
在短時間內頻繁打開和關閉泵電源可能會導致問題。
不要經常頻繁打開/關閉電源。
請勿安裝在下雨或淹水的地方或室外。尺寸圖
排氣速度曲線
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