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AZX400日本理學RIGAKU用于薄膜評估的 X 射線熒光光譜儀

發(fā)布時間:2025/04/23 08:45:40 發(fā)布廠商:北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司 >> 進入該公司展臺

AZX 400

用于薄膜評估的 X 射線熒光光譜儀

將 Be~U 中的所有元素(包括 B、C、N 和 O)包含在一個單元中,這些元素是重要的半導體材料

波長色散 X 射線熒光 (WDX) 光譜儀的高端模型

WDX 具有高信噪比和高分辨率,使用可實現(xiàn)比能量色散 X 射線熒光 (EDX) 儀器更準確的分析。 高功率 X 射線管和于輕元素的光譜晶體可實現(xiàn)輕元素測量,例如 B、C、N 和 O,這是 EDX 無法實現(xiàn)的。 此外,由于 Si 的影響,難以用 EDX 分析的 Al 薄膜可以通過高分辨率的 WDX 清晰分離。

詢價詢問有關產(chǎn)品的問題目錄AZX 400 用于大樣品的序列波長色散 XRF 光譜儀AZX 400 用于大樣品的序列波長色散 XRF 光譜儀接線端子AZX 400 1200x627

AZX 400 規(guī)格

產(chǎn)品名稱阿茲 400
技術掃描波長色散 X 射線熒光光譜法 (WDXRF)
分析所有樣品的薄膜厚度和成分,例如 φ50 mm 至 φ300 mm 的晶圓、芯片、切割的晶圓等。
科技將 Be~U 中的所有元素(包括 B、C、N 和 O)包含在一個單元中,這些元素是重要的半導體材料
主要組件4 kW 封裝 X 射線管、掃描測角儀、初級 X 射線濾光片、φ 30、20、10、1、0.5 mm 視場限制裝置
選擇晶圓加載器、SQX 軟件、CCD 相機
控制 (OC)外部 PC、MS Windows?作系統(tǒng)、同步涂層厚度成分分析標準軟件
本體尺寸1376 (W) x 1710 (H) x 890 (D) 毫米
重量約 800 kg(主機)
權力三相 200 VAC 50/60 Hz,50A


AZX400
用于薄膜評估
日本理學RIGAKU用于薄膜評估的 X
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