EBARA荏原干式真空泵通过机械运动直接压缩和排出气体，无需液体介质，避免油污染问题。其核心结构类型包括：

EBARA荏原螺杆式双螺杆结构：一对等速反向旋转的螺杆转子，通过阿基米德螺旋线与摆线轮廓设计形成密闭腔体，实现气体的连续吸入与排出‌13。

间隙控制：螺杆与泵腔保持微米级间隙，减少摩擦损耗，支持高转速运转（可达6000 rpm），提升抽气效率。

‌多级罗茨式‌‌多级串联设计‌：采用多级罗茨叶片转子，通过逐级压缩提高极限真空度（可达10⁻² Pa），适用于含粉尘或腐蚀性气体的环境‌56。

‌无接触啮合‌：转子间无物理接触，通过同步齿轮驱动，降低磨损并延长使用寿命。

涡旋式动静涡旋盘啮合：通过渐开线型涡旋盘形成连续压缩腔，实现无油、低振动运行，极限真空度达10⁻¹ Pa，适用于实验室和小型设备。